Verspannungsgetriebene Architekturen auf der Basis von Si-Nanomembranen

This thesis addresses the manufacturing of complex three-dimensional structures using planar nano-fabrication techniques and a stress-driven self-assembly process in group IV semiconductors. In the state of the art, the method called nanostructured origami, advocated here, has been used to... Ausführliche Beschreibung

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Format: Elektronische Hochschulschrift
veröffentlicht: Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2010.
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SOI
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