Großflächige Abscheidung organischer Leuchtdioden und Nutzung optischer Verfahren zur in situ Prozesskontrolle

In der vorliegenden Arbeit wird die großflächige Abscheidung von organischen Leuchtdioden (OLED) für Beleuchtungsanwendungen in einer neuartigen Beschichtungsanlage vorgestellt. Ausgehend von den speziellen Anforderungen an gleichförmige Schichtdickenverteilung und hohe Abscheideraten für... Ausführliche Beschreibung

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Format: Elektronische Hochschulschrift
veröffentlicht: Chemnitz Universitätsbibliothek Chemnitz 2011
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