Optimierung und Herstellung von Dualband-Fabry-Pérot-Filtern mit neuartigen Schichtmaterialien

In dieser Arbeit wurde die alte Designvariante des Fabry-Pérot-Filters (FPI4) hinsichtlich Performance und Ausbeute untersucht. Zielstellung war eine Optimierung, welche die Probleme wie Sticking, Kurzschluss zwischen Schirm und Elektrode sowie Defekte bei den Vereinzelungsverfahren beseitigen... Ausführliche Beschreibung

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Format: Elektronische Hochschulschrift
veröffentlicht: Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2011.
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FPI
SU8
SFB
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