Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level

In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur Charakterisierung von Mikrosystemen mit beweglichen Komponenten dargestellt. Sie erlaubt, funktionsrelevante Parameter und deren Schwankungen produktionsbegleitend auf Waferlevel zu ermitteln. Dabei wird vorausgesetzt, dass die Sollform der... Ausführliche Beschreibung

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Format: Elektronische Hochschulschrift
veröffentlicht: Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2010.
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FEM
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