Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung

In der vorliegenden Arbeit wird der reaktive ITO-Abscheidprozess unter Verwendung metallischer In:Sn-Targets eingehend untersucht. Die Schichtabscheidung erfolgt am symmetrisch bipolar gepulstem Dual-Magnetron sowohl auf ruhende als auch bewegte Substrate. Die Arbeit umfasst zwei Teilgebiete.... Ausführliche Beschreibung

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Format: E-Book
veröffentlicht: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz, 2008
Schlagworte:
ITO
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