Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen : Prozesscharakterisierung und Schichteigenschaften

Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten (a-C:H) haben in den letzten Jahrzehnten stark an Bedeutung gewonnen. Diese Art von Hartstoffschichten wird zunehmend für die Reduzierung von Reibung und Verschleiß in unterschiedlichen Bereichen eingesetzt. In der Forschung, aber auch für... Ausführliche Beschreibung

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Format: Elektronische Hochschulschrift
veröffentlicht: Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2012.
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