Analyse dünner Schichten mit der optischen Glimmentladungsspektroskopie

Die vorliegende Arbeit hat zum Ziel, ausgehend vom aktuellen Stand der Technik, die Möglichkeiten der optische Glimmentladungsspektroskopie (GD-OES) für Tiefenprofilanalysen dünner und dünnster Schichten (Schichtdicken = 1 bis 100 nm) zu bestimmen und geeignete instrumentelle und methodischen... Ausführliche Beschreibung

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Format: Elektronische Hochschulschrift
veröffentlicht: Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, 2009.
Schlagworte:
RVK-Notation: UP 7700 Spezielle Eigenschaften dünner Schichten und Grenzflächen
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