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Hyperdoping Si with deep-level impurities by ion implantation and sub-second annealing
Personen und Körperschaften: | , , |
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Titel: | Hyperdoping Si with deep-level impurities by ion implantation and sub-second annealing |
Hochschulschrift: | Dissertation, Technische Universität Dresden, 2018 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2018
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Schlagwörter: |