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Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap - Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen
Personen und Körperschaften: | , , , |
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Titel: | Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap - Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen |
Hochschulschrift: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2008 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2008
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Schlagwörter: |