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New Precursors for CVD Copper Metallization
Personen und Körperschaften: | , , , |
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Titel: | New Precursors for CVD Copper Metallization |
Format: | E-Artikel |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Elsevier B.V.
Online-Ausg.. 2008 |
Gesamtaufnahme: | ; Microelectronic Engineering 85 (2008), 2159-2163 |
Schlagwörter: |