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Thin Films of Copper Oxide and Copper Grown by Atomic Layer Deposition for Applications in Metallization Systems of Microelectronic Devices: Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupf...
Personen und Körperschaften: | , , , , |
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Titel: | Thin Films of Copper Oxide and Copper Grown by Atomic Layer Deposition for Applications in Metallization Systems of Microelectronic Devices: Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente |
Hochschulschrift: | Dissertation, 2009 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2010 |
Schlagwörter: |