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Thin Films of Copper Oxide and Copper Grown by Atomic Layer Deposition for Applications in Metallization Systems of Microelectronic Devices: Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupf...

Personen und Körperschaften: Wächtler, Thomas, Geßner, Thomas, Schulz, Stefan E., Lang, Heinrich, Mikolajick, Thomas
Titel: Thin Films of Copper Oxide and Copper Grown by Atomic Layer Deposition for Applications in Metallization Systems of Microelectronic Devices: Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente
Hochschulschrift: Dissertation, 2009
Format: E-Book Hochschulschrift
veröffentlicht:
Chemnitz Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2010
Schlagwörter: