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Charakterisierung von a-Si:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern
Personen und Körperschaften: | , , |
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Titel: | Charakterisierung von a-Si:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern |
Hochschulschrift: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2013 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2013
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Schlagwörter: |