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Charakterisierung von a-Si:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern

Personen und Körperschaften: Nobis, Frank, Richter, Frank, Zahn, Dietrich R. T.
Titel: Charakterisierung von a-Si:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern
Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2013
Format: E-Book Hochschulschrift
veröffentlicht:
Online-Ausg.. 2013
Schlagwörter: