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SAMs (self-assembled monolayers) passivation of cobalt microbumps for 3D stacking of Si chips
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
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Titel: | SAMs (self-assembled monolayers) passivation of cobalt microbumps for 3D stacking of Si chips |
Format: | E-Book |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Technische Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2016 |
Gesamtaufnahme: | ; AMC 2015 – Advanced Metallization Conference |
Schlagwörter: |