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Haase, M., Ecke, R., & Schulz, S E. Requirements and challenges on an alternative indirect integration regime of low-k materials. Chemnitz: Technische Universität Chemnitz.

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Requirements and challenges on an alternative indirect integration regime of low-k materials . — Chemnitz : Technische Universität Chemnitz,

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Haase, Micha, Ramona Ecke, and Stefan E. Schulz. Requirements and Challenges On an Alternative Indirect Integration Regime of Low-k Materials.Chemnitz: Technische Universität Chemnitz.

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