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Characterization and Process Development of CVD/ALD-based Cu(Mn)/Co(W) Interconnect System
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , , |
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Titel: | Characterization and Process Development of CVD/ALD-based Cu(Mn)/Co(W) Interconnect System |
Format: | E-Book |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Technische Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2016 |
Gesamtaufnahme: | ; AMC 2015 – Advanced Metallization Conference |
Schlagwörter: |