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Organosilane Downstream Plasma On Ultra Low-k Dielectrics: Comparing Repair With Post Etch Treatment: Organosilane...

von Calvo, Jesús; Steinke, Philipp; Wislicenus, Marcus ; et al.
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016

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Porous Ultra Low-k Material Integration Through An Extended Dual Damascene Approach: Pre-/ Post-CMP Curing...

von Calvo, Jesús; Koch, Johannes; Thrun, Xaver ; et al.
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016

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Reaction Paths of Repair Fragments on Damaged Ultra-low-k Surfaces

von Förster, Anja
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2015

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Low-k SiCxNy Etch-Stop/Diffusion Barrier Films for Back-End Interconnect Applications, AMC 2015 – Advanced...

von Leu, Jihperng; Tu, H.E.; Chang, W.Y. ; et al.
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016

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Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap - Strukturen in Metallisierungssystemen in...

von Schulze, Knut
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2008

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AMC 2015 – Advanced Metallization Conference

veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016

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Requirements and challenges on an alternative indirect integration regime of low-k materials, AMC 2015 – Advanced...

von Haase, Micha; Ecke, Ramona; Schulz, Stefan E.
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016

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Electron microscopic studies of low-k inter-metal dielectrics

von Singh, Pradeep Kumar
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2014

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Wetting Optimized Solutions for Plasma Etch Residue Removal for Application in Interconnect Systems of Integrated...

von Ahner, Nicole
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2013

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Das Konzept des effektiven Indenters für die Ermittlung des Elastizitätsmoduls und der Fließgrenze dünner Schichten

von Herrmann, Matthias
veröffentlicht Universitätsbibliothek Chemnitz, 2010

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